Az elektromos tér hatására nagy sebességgel mozgó elektronok bombázzák a tárgy felületét és felmelegítik azt. Az elektronsugaras fűtés fő alkatrésze az elektronsugár generátor, más néven elektronágyú. Az elektronágyú főként katódból, nyalábelektródából, anódból, elektromágneses lencséből és eltérítő tekercsből áll. Az anód földelve van, a katód a negatív magas pozícióba van kötve, a fókuszáló nyaláb általában a katód potenciálján van, a katód és az anód között gyorsított elektromos tér jön létre. A katód által kibocsátott elektronokat gyorsuló elektromos tér hatására nagyon nagy sebességre felgyorsítják, elektromágneses lencsével fókuszálják, majd egy terelőtekerccsel irányítják, hogy az elektronsugár a felhevült tárgy felé egy bizonyos irányba lőjön.
Az elektronsugaras fűtés előnyei: (1) szabályozza az elektronsugár áramértékét Ie, amely könnyen és gyorsan megváltoztathatja a fűtési teljesítményt; (2) Az elektromágneses lencse használható a fűtött rész szabad megváltoztatására, vagy az elektronsugaras bombázási rész területe szabadon beállítható; (3) A teljesítménysűrűség növelhető úgy, hogy az anyag a bombázott ponton azonnal elpárolog.
